毫米级空气轴承的结构与MEMS制造工艺研究
余明星,李海旺,吕品,徐天彤,谭啸
Characterization and Fabrication of Micro Air Bearing with Micro Channels Via MEMS Technique
YU Ming-xing,LI Hai-wang,LV Pin,XU Tian-tong,TAN Xiao
推进技术 . 2018, (5): 1122 -1133 . 

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