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小型感性耦合射频等离子体中和器的实验研究 *
贺建武,马隆飞,薛森文,章楚,段俐,康琦
Experimental Studyofa Mini Inductively Coupled Radio-Frequency Plasma Neutralizer
HE Jian-wu
1,2
,MA Long-fei
1,2
,XUE Sen-wen
1,2
,ZHANG Chu
1,2
,DUAN Li
1,2
,KANG Qi
1,2
推进技术 . 2018, (
7
): 1673 -1680 .
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小助手微信:tjjsxzs
公众号:casic-tjjs
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